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水蒸氣噴射真空泵是有一定壓力的工作水蒸氣通過拉瓦爾噴嘴，減壓增速以超音速在吸入室與被抽介質混合，攜帶被抽介質一起向前運動，進入擴壓管減速增壓，排至下一級噴射器或大氣，從而在吸入室形成真空。用於用戶對真空度要求不同，每台蒸氣噴射真空泵可由單級或數級噴射器串接。級數越多，真空度越高。
